电阻型半导体气敏传感器的结构
出处:维库电子市场网 发布于:2024-08-23 16:18:29
气敏通常由气敏元件、加热器和封装体三部分组成。气敏元件按制造工艺不同可分为烧结型、薄膜型和厚膜型三类。它们的典型结构如图6-2所示。
图 6-2b所示为薄膜型气敏元件。它采用蒸发或溅射工艺,在石英基片上形成氧化物半导体薄膜(其厚度约在100nm 以下)。其制作方法也很简单。实验证明,Sn0,半导体薄膜的气敏特性:但这种半导体薄膜为物理性附着,元件间性能差异较大。
图 6-2c所示为厚膜型气敏元件。这种元件是将Sn0,或2n0等材料与3%~15%(质量百分比)的硅凝胶混合制成能印刷的厚膜胶,把厚膜胶用丝网印刷到装有铂电极的氧化铝(AL0:)或氧化硅(Si0,)等绝缘基片上,再经400℃~800℃温度烧结1h制成。由于这种工艺制成的元件离散度小、机械强度高,适合大批量生产,所以是一种很有前途的元件。
加热器的作用是将附着在敏感元件表面上的尘埃、油雾等烧掉,加速气体的吸附,提高其灵敏度和响应速度。加热器的温度一般控制在 200℃~400℃范围内。
加热方式一般有直热式和旁热式两种,因而有直热式和旁热式气敏元件。直热式气敏元件是将加热丝直接埋入Sn02、2n0粉末中烧结而成,因此,直热式常用于烧结型气敏结构。直热式结构如图6-3a、b所示。旁热式气敏元件是将加热丝和敏感元件同置于一个陶内,管外涂梳状金电极作为测量极,在金电极外再涂上Sn0,等材料,其结构如图 6-3c、d所示。
版权与免责声明
凡本网注明“出处:维库电子市场网”的所有作品,版权均属于维库电子市场网,转载请必须注明维库电子市场网,//domainnameq.cn,违反者本网将追究相关法律责任。
本网转载并注明自其它出处的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品出处,并自负版权等法律责任。
如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
- 电压跟随器的工作原理2025/7/4 17:26:43
- 干簧继电器和固态继电器哪个更好2025/7/4 17:02:33
- 低气压环境下电子元器件可靠性:解析与应对2025/7/4 16:52:21
- GPS 测量仪器使用方法大揭秘2025/7/4 15:52:40
- 什么是反相器,反相器的知识介绍2025/7/3 17:15:22